Karakteristik yo nan lanp excimer ak wo -pite kwatz wòch 1
1. Pwopriyete debaz nan kwatz ki gen gwo -pite
(1) Estrikti Crystal ak Pite Chimik
Gwo -kwats pite toujou fè pati sistèm trigonal la ak klas kristal trapezoedral trigonal, ak estrikti tetraedrik [SiO4] li yo trè regilye. Konpozisyon chimik li yo gen gwo -pite SiO2, epi fraksyon mas nan eleman enpurte (tankou Al, Fe, K, Na, elatriye) se entèdi kontwole nan yon nivo ki ba anpil. Karakteristik sa a fè li mwens chans deteryore akòz iyonizasyon enpurte oswa reyaksyon chimik nan gwo -egzeyat frekans lan ak gwo anviwònman radyasyon UV nan limyè excimer, asire estabilite alontèm-tib lanp lan.
(2) Pwopriyete optik: Segondè transmisyon nan UV Band
Transmisyon UV nan kwatz se yon kondisyon debaz pou aplikasyon pou limyè excimer. Gwo -pite kwatz gen yon transmissions de 85% a 90% nan 100-500 nm UV bann (pou chak santimèt epesè sou aks optik la), espesyalman pou gwoup yo souvan itilize nan limyè excimer tankou 172 nm (Xe₂ excimer) ak 222 nm (KrC pèt eksimè), ki ba anpil. Karakteristik sa a asire ke limyè UV ki emèt pa limyè excimer ka transmèt avèk efikasite, amelyore efikasite lumineux ak efè iradyasyon sous limyè a.
(3) Pwopriyete tèmik ak mekanik
Pwen k ap fonn kwatz pite segondè -se anviwon 1713 ∘C, epi diferans ki genyen nan koyefisyan ekspansyon tèmik ant direksyon pèpandikilè ak paralèl ak aks c- la relativman piti. Li pa fasil krak akòz ekspansyon tèmik ak kontraksyon anba estrès la tèmik peryodik pandan operasyon an nan limyè excimer. Fòs konpresyon li yo (apeprè 24,500 MPa nan direksyon paralèl ak aks c-) ak karakteristik ka zo kase konchoidal tou asire estabilite mekanik tib lanp lan pandan pwosesis ak itilizasyon.
2. Kondisyon pèfòmans Excimer Limyè pou High -Pirite Quartz
(1) Ekstrèm inifòmite nan transmisyon optik
Limyè eksimèr bezwen reyalize gwo -enèji- pwodiksyon limyè dansite nan gwoup UV espesifik. Se poutèt sa, li nesesè ke transmittance nan kwatz nan gwoup la k ap travay nan tib la lanp se pa sèlman "segondè" men tou "inifòm". Si gen domaj enpurte oswa inhomogeneities estriktirèl nan kwatz, li pral mennen nan ogmante gaye ak absòpsyon nan limyè UV, diminye efikasite nan lumineux nan limyè excimer e menm diminye lavi lanp lan. Pou egzanp, tras metal enpurte (tankou Fe, Ti) pral fòme sant absòpsyon UV, dirèkteman febli entansite efikas iradyasyon limyè excimer.
(2) Estabilite chimik ak rezistans radyasyon
Egzeyat gaz segondè -frekans (tankou ionizasyon Xe, Kr, Cl, elatriye) rive andedan tib lanp limyè excimer la, epi fò radyasyon UV pwodui ansanm. Gwo -kwatz pite bezwen kenbe inertness chimik nan anviwònman sa a, ni reyaji ak gaz la egzeyat ni jenere sant koulè (tankou pòs oksijèn, eksitasyon iyon enpurte) akòz radyasyon. Se sèlman kwatz pite segondè -ak estabilite chimik ekselan ka asire konsistans pèfòmans limyè excimer pandan operasyon alontèm.
(3) Estabilite tèmik ak presizyon dimansyon
Pandan operasyon an nan limyè excimer, tanperati lokal la nan tib la lanp varye anpil. Koefisyan ekspansyon tèmik ki ba ak konduktiviti tèmik segondè nan kwatz pite segondè -ka efektivman soulaje konsantrasyon estrès tèmik. Anplis de sa, presizyon nan dimansyon nan tib la lanp (tankou inifòmite nan dyamèt tib ak epesè miray) dirèkteman afekte estabilite nan egzeyat ak limyè pwodiksyon inifòmite nan limyè excimer, ki mande pou segondè -kwatz pite kenbe bon fòmabilite ak kontwòl dimansyon pandan pwosesis.
3. Valè aplikasyon High -pite Quartz nan limyè Excimer
(1) Amelyore efikasite lumineux ak tout lavi Excimer limyè
Segondè -kwatz pite ak transmisyon UV segondè ka maksimize pwodiksyon limyè UV ki emèt pa limyè excimer, amelyore efikasite itilizasyon enèji sous limyè a. An menm tan an, estabilite chimik ekselan li yo ak rezistans radyasyon ka retade pwoblèm yo nan degradasyon transmisyon ak flit gaz nan tib la lanp akòz deteryorasyon materyèl, siyifikativman pwolonje lavi sa a ki sèvis nan limyè excimer. Kounye a, lavi sèvis nan tib limyè excimer ki baze sou kwatz pite segondè -ka rive jwenn dè milye èdtan, satisfè bezwen pwodiksyon endistriyèl kontinyèl.
(2) Elaji limit aplikasyon Excimer Light
Nan jaden litografi semi-conducteurs, limyè excimer (tankou limyè excimer ArF, 193 nm) bezwen transmèt limyè UV atravè lantiy kwatz segondè -pite ak tib lanp pou reyalize modèl litografik ak lajè liy nanokal. Nan jaden dezenfeksyon medikal la, karakteristik limyè excimer 222 nm ki inofansif pou po moun depann sou gwo transmisyon kwatz pite segondè - nan gwoup sa a, ki fè li aplikab a senaryo dezenfeksyon kote moun ak machin coexist. Dekouvèt pèfòmans segondè -kwatz pite kontinyèlman elaji limit aplikasyon limyè excimer.
4. Konklizyon
Pwopriyete debaz yo nan kwatz segondè -pite yo trè konpatib ak kondisyon teknik yo nan limyè excimer, fòme yon modèl devlopman kowòdone nan "materyèl sipòte teknoloji ak teknoloji pouse amelyore materyèl". Kòm limyè excimer aplike nan plis segondè -jaden fen (tankou gwo twou san fon fotokataliz UV, manifakti ekspozisyon avanse), kondisyon yo pèfòmans pou segondè -pite kwatz yo pral plis amelyore. Pandan se tan, pwogrè nan teknoloji pirifikasyon kwatz pral pote tou espas devlopman pi laj pou limyè excimer. Nan tan kap vini an, inovasyon teknolojik alantou "segondè -pite kwatz - excimer limyè" ap toujou youn nan otspo rechèch yo nan domèn sous limyè UV ak materyèl avanse.
